Optica voor dynamisch scannend optisch systeem: 1 stuks kleine focuslens, 1-2 stuks focuslens, galvospiegel. De gehele optische lens vormt een functie van straaluitbreiding, focussering en straalafbuiging en scannen.
Het expanderende deel is een negatieve lens, dat wil zeggen een kleine focuslens, die straaluitbreiding en bewegende zoom realiseert, de focusseringslens bestaat uit een groep positieve lenzen. De galvospiegel is een spiegel in het galvanometersysteem.
(1) Optimalisatie van lensontwerp: optimale verhouding tussen diameter en dikte
(2) Hoge schadedrempel lens:>30J/cm2 10ns
(3) Coating met ultralage absorptie, absorptiesnelheid: <20 ppm
(4) Verhouding dikte/diameter galvanometer: 1:35
(5) Nauwkeurigheid lensoppervlak: <= λ/5
Post-objectieflens
| Max. instappupil (mm) | Optiek 1 Diameter (mm) | Optiek 2 Diameter (mm) | Optiek 3 Diameter (mm) | Scanveld (mm) | Helder diafragma van scanner (mm) | Golflengte |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10,6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflectorspiegel
| Onderdeelbeschrijving | Diameter (mm) | Dikte (mm) | Materiaal | Coating |
| Siliciumreflector | 25.4 | 3 | Silicium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Siliciumreflector | 30 | 4 | Silicium | HR@10.6um,AOI: 45° |
| Vezelreflector | 25.4 | 6.35 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 nm, AOI: 45° |
| Vezelreflector | 30 | 5 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 nm, AOI: 45° |
| Vezelreflector | 50 | 10 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6.35 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 30 | 5 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 532 Reflector | 50 | 10 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6 | Gesmolten silica | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6.35 | Gesmolten silica | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 25.4 | 10 | Gesmolten silica | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
| 355 Reflector | 30 | 5 | Gesmolten silica | HR@355nm&433nm, AOI: 45° |
Galvo spiegel
| Onderdeelbeschrijving | Max. instappupil (mm) | Materiaal | Coating | Golflengte |
| 55 mmL*35mmB*3,5mmT-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Silicium | MMR@10.6um | 10,6um |
| 55 mmL*35mmB*3,5mmT-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Gesmolten silica | HR@1030-1090nm | 1030-1090 nm |
| 55 mmL*35mmB*3,5mmT-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Gesmolten silica | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mmL*35mmB*3,5mmT-X 62 mm L * 43 mm B * 3,5 mm T-Y | 30 | Gesmolten silica | HR@355nm | 355 nm |
Beschermende lens
| Diameter (mm) | Dikte (mm) | Materiaal | Coating |
| 75 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | ZnSe | AR/AR@10.6um |
