Dynamische scanning optische systeemoptica: 1 st kleine focuslens 、 1-2 stcs focuslens 、 galvo spiegel. De gehele optische lens vormt een functie van bundeluitbreiding, focus- en bundelafbuiging en scannen.
Het groeiende deel is een negatieve lens, dat wil zeggen kleine focuslens, die realiseert bundeluitbreiding en bewegende zoom, de focuslens bestaat uit een groep positieve lenzen. De Galvo -spiegel is spiegel in het galvanometer -systeem.
(1) Optimalisatie van lensontwerp: een optimale verhouding tussen diameter tot dikte verhouding
(2) Lens hoge schade drempel:> 30J/cm2 10ns
(3) Ultra-lage absorptiecoating, absorptiesnelheid: <20 ppm
(4) Galvanometer dikte tot diameter verhouding: 1 ：35
(5) Lensoppervlaknauwkeurigheid: <= λ/5
Lens na de objectieve
| Max Entrance Pupil (mm) | Optica 1 diameter (mm) | Optica 2 diameter (mm) | Optica 3 diameter (mm) | Scanveld (mm) | Duidelijk diafragma van scanner (mm) | Golflengte |
| 8 | 15 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 10.6um |
| 12 | 22 | 55 | 55 | 1600x1600 | 30 | |
| 8 | 16 | 55 | 55 | 600x600 800x800 | 30 | 1030-1090 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 532 nm |
| 8 | 15 | 35 | 35 | 300x300 | 10 | 355 nm |
Reflectorspiegel
| Onderdeelbeschrijving | Diameter (mm) | Dikte (mm) | Materiaal | Coating |
| Siliciumreflector | 25.4 | 3 | Silicium | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Siliciumreflector | 30 | 4 | Silicium | HR@10.6um,AOI: 45 ° |
| Vezelreflector | 25.4 | 6.35 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 Nm, AOI: 45 ° |
| Vezelreflector | 30 | 5 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 Nm, AOI: 45 ° |
| Vezelreflector | 50 | 10 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 Nm, AOI: 45 ° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 532 Reflector | 25.4 | 6.35 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 532 Reflector | 30 | 5 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 532 Reflector | 50 | 10 | Gesmolten silica | HR@515-540nm/532nm, AOI: 45 ° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6 | Gesmolten silica | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 Reflector | 25.4 | 6.35 | Gesmolten silica | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 Reflector | 25.4 | 10 | Gesmolten silica | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
| 355 Reflector | 30 | 5 | Gesmolten silica | HR@355nm & 433nm, AOI: 45 ° |
Galvo Mirror
| Onderdeelbeschrijving | Max Entrance Pupil (mm) | Materiaal | Coating | Golflengte |
| 55 mml*35mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Silicium | MMR@10.6um | 10.6um |
| 55 mml*35mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Gesmolten silica | HR@1030-1090 Nm | 1030-1090 nm |
| 55 mml*35mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Gesmolten silica | HR@532nm | 532 nm |
| 55 mml*35mmw*3,5 mmt-x 62 mml*43mmw*3,5 mmt-y | 30 | Gesmolten silica | HR@355nm | 355 nm |
Beschermende lens
| Diameter (mm) | Dikte (mm) | Materiaal | Coating |
| 75 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 80 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x60 | 5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x64 | 2.5 | Znse | AR/AR@10.6um |
| 90x70 | 3 | Znse | AR/AR@10.6um |
